随着芯片制程迈入纳米时代，温控的精度与稳定性已不再是“加分项”，而是决定产品良率的关键。一次小小的温升失控，可能引发薄膜厚度不均、光刻图形偏移或焊接空洞；仅仅0.1℃的温度波动，足以导致整片晶圆报废。在这一背景下，直接换热式冷水机（Direct Heat Exchange Chiller）凭借无中间传热介质、高效热传导、毫秒级响应等优势，正在成为半导体先进制程中不可或缺的核心温控装备。   一、直接换热式冷水机的优势 传统的间接换热系统依赖多级传热，存在热阻大、响应慢、效率低等问题。而直接换热式冷水机能让制冷剂和冷却液在板式换热器内直接接触换热，省去中间传热介质，大幅降低热阻，从而实现更快的温度响应和更高的能效（实测节能达80%）。此外，该系统采用无氟环保设计，充分符合半导体先进制程对绿色温控的需求。 ▲直接换热式冷水机   二、直接换热式冷水机的应用 ☑️光刻工艺：小于0.1℃，才叫“精准” 在光刻工艺中，激光光源和投影物镜对温度波动非常敏感。微小的热漂移会导致成像偏移，直接影响线宽控制。直接换热式...

在半导体制造中，清洗工艺的成败关键在于温度控制的精度与稳定性。为此，FerroTec推出四通道压缩机式冷水机 FCCWQ011-7402 ——专为半导体清洗设备量身打造，凭借多通道独立控温与工业级运行稳定性，为先进制程提供洁净、可靠、无忧的温控保障。  

在蒸汽压缩式制冷循环中，压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器四大部件缺一不可，它们共同构成一个封闭的循环系统。其中，节流装置虽然结构简单，却承担着建立高低压差和精准调控制冷剂流量的关键作用。本文将为你详细介绍节流装置的主要类型、核心功能及其各自的技术特点。