「持ち込み」から「出し入れ」へ：フェロテックの半導体温度制御装置の現地化への道
人工知能 (AI) 技術の急速な発展により、世界の半導体業界は新たな成長機会を迎えています。米国半導体工業会のデータによると、世界の半導体売上高は2016年から2024年にかけて全体的に成長傾向を示し、複合成長率は5.64%で、業界の成長ポテンシャルは大きい。 SEMIによれば、世界の半導体売上高に占める中国本土のシェアは5年連続で約30％で推移している。
「中国製造2025」は、半導体装置の国産化について明確な要件を提示している。
2020年現在
90～32ナノメートルプロセス装置の50％のローカライズ率、主要なパッケージングおよびテスト装置の50％のローカライズ率、および90ナノメートルリソグラフィー装置の50％のローカライズ率を達成
2025年までに
20～14ナノメートルプロセス装置のローカライズ率30％、液浸リソグラフィー装置のローカライズを実現
2030年までに
18インチプロセス装置、EUVリソグラフィー装置、パッケージング・試験装置の現地化を実現
今年、中国の半導体装置国産化代替は重要な時期を迎え、国産化率は35％～50％を超えると予想されている。このような背景から、FerroTec (China) Chiller は国家政策を厳守し、半導体産業の現地化変革を積極的に推進しています。
FerroTecのローカリゼーションレイアウト
1. フェロテックの国内半導体産業の配置
フェロテック（中国）は、国内半導体業界のリーディングカンパニーとして、これまで杭州大和熱磁電子、寧夏銀河半導体、上海申和熱磁電子、富楽徳科技、富楽花、中鑫ウエハーなど国内40社以上の企業に投資してきました。 FerroTec の主な事業は、半導体材料、精密機器、および関連産業チェーンの分野に集中しており、半導体シリコン ウェーハ、石英製品、セラミック材料、精密機器、洗浄サービスなどの主要リンクをカバーしています。
（II）半導体温度制御事業の国内転換
フェロテックの半導体温度制御事業はグループの中核産業です。設立以来、チームは成長と発展を続けています。現在、杭州と常山に2つの主要な生産・製造拠点と研究開発センターがあり、米国、ヨーロッパ、日本、韓国、シンガポールなどにチラー海外事務所を構えています。フェロテックは、独自に開発したTEC温度制御技術により、±0.01℃までの高精度温度制御を実現し、海外サプライヤーへの依存度を低減し、国内のハイエンド半導体温度制御技術分野のギャップを埋めています。
（III）フェロテックの半導体温度制御製品の紹介
フェロテックは半導体業界のトップ企業です。独自に開発・設計されたFCCWS101-7402は、冷却能力8.0kW@-60℃、加熱能力8000Wの超低温コンプレッサー温度制御装置です。 PID アルゴリズムによる正確な温度制御を実現し、リアルタイムの動的温度調整、リモート通信のサポート、リアルタイムの障害警告を実現できるインテリジェントな温度制御システムを備えており、機器の安全で安定した動作を保証します。
究極の冷却能力
カスケード圧縮システムとハイブリッド冷凍技術の採用により、従来の冷凍技術の限界を突破しました。温度範囲は -80°C ～ 60°C をカバーし、半導体ウェハの急速冷却や超伝導材料の試験などの厳しい要件を満たします。
優れた温度制御
高精度 PID アルゴリズムと高度なセンシング技術を統合し、超低温範囲で ±0.1°C の安定性を維持し、実験とプロセスの再現性を保証します。
エネルギー効率の高い設計
膨張弁の開度は PID によって自動的に調整され、急速な温度上昇と温度下降を実現します。これにより、従来の冷却ソリューションに比べてエネルギー消費が大幅に削減され、長期的なコスト上の利点も大幅に得られるため、長期間の連続運転が必要な産業シナリオに特に適しています。
極限環境における信頼性
半導体装置（イオン注入装置など）の24時間365日稼働の要件に応えるため、特殊な低温合金材料とモジュール式不凍液設計が採用されています。主要コンポーネントは -150°C の極限環境に耐えることができ、長期間の高負荷下でも機器の安定した動作を確保するために複数の安全保護機構が装備されています。
今後、中国の製造業が高度化していく中で、フェロテックは現地化戦略をさらに深化させ、技術革新を高め、サプライチェーンシステムを改善し、製品品質を高め、世界市場を拡大していきます。フェロテックは、デジタル変革とグリーン開発を通じて、世界の温度制御分野のリーディングカンパニーを目指し、中国の製造業の高品質な発展に貢献してまいります。
