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在这里你可以实时了解Chiller冷水机最新动态、市场趋势、技术创新、政策变化
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在半导体制造中，刻蚀（Etch）工艺是将光刻胶图形精确转移到硅片上的关键制程，其质量直接决定产品的性能和良率。温度变化会显著影响刻蚀速率、选择性和工艺稳定性。 -
近日，杭州先导热电在海外市场取得了一项重要突破——我们自主研发的两款水冷冷水机FCCA33121-4401和FCCA56121-4401已成功打入日本理化学实验室并实现“零瑕疵”交付。
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欢迎来到Chiller科普小课堂！在之前的课堂中，我们介绍分享了冷水机的“四大件”——压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器。除此之外，在冷水机制冷系统中，还有一些同样重要的“幕后英雄”——辅助元器件，它们和“四大件”共同保障了冷水机的稳定运行。
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欢迎来到Chiller科普小课堂！根据制冷原理，冷水机通常被分为压缩机式冷水机、直接换热式冷水机、TEC式冷水机等多种类型。本期小将重点介绍压缩机式冷水机的核心部件及其工作原理。
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凝“芯”聚“链”，勇立“潮”头。5月8日上午，由中国半导体行业协会指导，浙江省半导体行业协会主办的2025中国浙江（海宁）半导体装备及材料博览会在海宁会展中心开幕。FerroTec热电事业部应邀参展，并重点展示了FerroTec在半导体温控领域的科研成果——TEC高精度冷水机产品与技术。
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在半导体制造流程中，涂胶显影工艺对芯片性能具有决定性影响。光刻胶的涂布厚度和均匀性直接影响最终芯片的性能，而影响光刻胶均匀性的关键因素之一正是晶圆表面的温度控制精度。因此在实际工艺中，普遍采用晶圆加热盘对晶圆进行高精温度控制，以确保工艺稳定性与良品率。
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自1992年成立以来，杭州大和热磁电子有限公司始终以热电制冷技术为核心，深耕半导体与精密温控领域。作为日本FerroTec集团在华的全资子公司，大和热磁依托全球化技术资源，逐步成长为国内冷水机行业的领军企业。
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FCCWS051-7402系列冷水机是由FerroTec热电事业部自主研发的压缩机式低温型冷水机。这款产品能够满足实验室研究、医疗行业、工业应用、电子元器件、汽车、光通讯、航天航空、半导体行业蚀刻装置，CMP、模具温控等多领域应用；为不同工艺步骤提供稳定、精确的温度控制，从而确保半导体器件的质量和性能。
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5月8日-10日"2025中国浙江（海宁）半导体装备与材料产业博览会"将在海宁市国际会展中心举行。届时FerroTec将携自研冷水机设备及温控解决方案亮相展会现场，诚邀大家莅临A87展位参观交流！
