FerroTec は、CSEAC 半導体装置展示会で素晴らしい成果をあげ、新しい半導体温度制御ソリューションを展示しました。
1. 展示品レビュー
今回の展示会では、TEC小型チラー、薬液チラー、ホット＆コールドプレート、精密温度コントローラーなど高精度温度制御製品の展示に重点を置きました。
TEC小型チラー
高度な熱電TEC温度制御技術を採用した本製品は、コンパクトなサイズ、静音動作、そして環境に優しい動作を誇ります。10～60℃の温度範囲を±0.02℃の制御精度で実現し、半導体製造プロセスに効率的な温度制御ソリューションを提供します。
薬液チラー
高腐食性・高純度液体の温度制御に特化して設計されており、強酸・強アルカリ環境下でも安定した動作と高精度な温度制御を実現します。高純度PFAと石英製の接点部品を採用し、高濃度の酸・アルカリ薬液、超純水など、様々な特殊流体に適しています。
温かい料理と冷たい料理
レジストコーティング、レジスト剥離、ボンディングなど、ウェーハ製造工程における加熱・冷却プロセスに使用されます。温度範囲はホットプレートで60℃～600℃、コールドプレートで-15℃～60℃で、様々な半導体製造プロセスにおける厳しい温度均一性と一貫性の要件を満たします。
2. 展示会場
世界をリードする熱電（TEC）温度制御技術を有するFerroTecは、半導体分野の多くの業界専門家、技術専門家、そしてお客様を魅了し、意見交換や経験の共有を行いました。会場でのデモンストレーションや専門家による解説を通じて、出展者は熱電温度制御技術の利点と将来性について深く理解することができました。FerroTecは今後も、様々な半導体分野において高精度温度制御システムのポートフォリオを拡充し、中国の半導体産業の発展と国産化の促進に貢献していきます。
FerroTec（中国）は1992年に中国杭州で設立されました。同社の熱電部門は、マイクロ/ミニTEC、TEC半導体冷却装置、半導体温度制御装置用チラーの研究開発、生産、販売を専門としています。30年以上にわたる発展と成長を経て、当社は世界最大の熱電半導体冷却装置サプライヤーとなりました。これらの製品は、光通信、半導体、新エネルギー、航空宇宙、医療機器などの分野で広く利用されています。
お問い合わせ：0571-87977390
